雅马拓等离子清洗机V1000/1000X/1000XS

 产品名称：雅马拓等离子清洗机V1000/1000X/1000XS

品牌：雅马拓

产地：中国

型号：V1000/1000X/1000XS





等离子清洗机
V1000/1000X/1000XS
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。



特点
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。


技术规格